上海科技大學(xué)擬采購(gòu)氧化物原子層沉積系統(tǒng)等設(shè)備，現(xiàn)委托上海中招招標(biāo)有限公司進(jìn)行國(guó)際招標(biāo)，具體公告已發(fā)布在中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)和上海政府采購(gòu)網(wǎng)，詳情請(qǐng)見(jiàn)以下鏈接：

氧化物原子層沉積系統(tǒng)：

http://www.zfcg.sh.gov.cn/emeb_bulletin.do?method=showbulletin&bulletin_id=2019020980

六寸全自動(dòng)甩膠顯影系統(tǒng)：

http://www.zfcg.sh.gov.cn/emeb_bulletin.do?method=showbulletin&bulletin_id=2019020984

超高真空樣品制備及低溫透鏡驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：

http://www.zfcg.sh.gov.cn/emeb_bulletin.do?method=showbulletin&bulletin_id=2019020965

深紫外/可見(jiàn)光/近紅外光譜橢偏儀：

http://www.zfcg.sh.gov.cn/emeb_bulletin.do?method=showbulletin&bulletin_id=2019020990

六寸水冷基底10kW電子束沉積系統(tǒng)：

http://www.zfcg.sh.gov.cn/emeb_bulletin.do?method=showbulletin&bulletin_id=2019020976

大腔體高壓低溫測(cè)量系統(tǒng)：

http://www.zfcg.sh.gov.cn/emeb_bulletin.do?method=showbulletin&bulletin_id=2019020961

多功能顯微操控與測(cè)力光鑷：

http://www.zfcg.sh.gov.cn/emeb_bulletin.do?method=showbulletin&bulletin_id=2019020957

六寸晶圓大尺寸光學(xué)顯微鏡：

http://www.zfcg.sh.gov.cn/emeb_bulletin.do?method=showbulletin&bulletin_id=2019020997

上?？萍即髮W(xué)設(shè)備與資產(chǎn)處

2019年5月28日