6月18日，國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“戰(zhàn)略性科技創(chuàng)新合作”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)——“基于高功率高次諧波的極紫外干涉光刻技術(shù)研究”項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)暨實(shí)施方案論證會(huì)在上海科技大學(xué)舉行。項(xiàng)目專(zhuān)家組成員、項(xiàng)目骨干、依托單位和外方合作單位代表等出席會(huì)議。會(huì)議由上科大國(guó)際事務(wù)處（港澳臺(tái)辦）副處長(zhǎng)聶焱與專(zhuān)家組組長(zhǎng)、上海理工大學(xué)劉一教授共同主持。

校黨委副書(shū)記、副校長(zhǎng)江舸表示，學(xué)校將切實(shí)履行依托單位責(zé)任，加強(qiáng)過(guò)程管理，統(tǒng)籌協(xié)調(diào)各方資源，全力保障項(xiàng)目高質(zhì)量實(shí)施，推動(dòng)創(chuàng)新成果產(chǎn)出。

專(zhuān)家組在審閱項(xiàng)目材料的基礎(chǔ)上，聽(tīng)取了項(xiàng)目負(fù)責(zé)人彭鵬教授關(guān)于項(xiàng)目立項(xiàng)背景、研究目標(biāo)、任務(wù)分工及技術(shù)路線(xiàn)的專(zhuān)題匯報(bào)，瑞士合作方謝新華研究員進(jìn)行了線(xiàn)上致辭。與會(huì)專(zhuān)家圍繞高功率高次諧波產(chǎn)生、極紫外光刻系統(tǒng)優(yōu)化、極紫外光與近紅外驅(qū)動(dòng)激光的高效分離等關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題展開(kāi)研討，提出了建設(shè)性意見(jiàn)。經(jīng)討論，專(zhuān)家組一致認(rèn)為：項(xiàng)目實(shí)施方案科學(xué)合理，技術(shù)路線(xiàn)可行，同意通過(guò)論證。同時(shí)，專(zhuān)家組建議以項(xiàng)目實(shí)施為紐帶，進(jìn)一步深化中瑞雙方在極紫外光刻領(lǐng)域的產(chǎn)學(xué)研合作。

“基于高功率高次諧波的極紫外干涉光刻技術(shù)研究”項(xiàng)目依托單位為上?？萍即髮W(xué)，國(guó)內(nèi)合作單位為中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所，國(guó)際合作單位為瑞士保羅謝爾研究所。項(xiàng)目執(zhí)行期為2025年1月至2027年12月。該項(xiàng)目聚焦極紫外光刻膠感光度與圖形化能力的測(cè)試難題，研制基于高次諧波技術(shù)的高功率極紫外光源和高數(shù)值孔徑干涉光刻裝置，為光刻膠性能檢測(cè)提供桌面型曝光平臺(tái)。項(xiàng)目專(zhuān)家組成員包括：上海理工大學(xué)劉一教授、南京理工大學(xué)金成教授、吉林大學(xué)羅嗣佐教授、張江實(shí)驗(yàn)室劉軍研究員和鄭穎輝研究員。