上?？萍即髮W(xué)材料器件中心（SMDL）圍繞“以頂尖科研平臺(tái)加大力度服務(wù)上海產(chǎn)業(yè)”，依托上海市政策紅利與平臺(tái)技術(shù)優(yōu)勢(shì)，在服務(wù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展工作中邁出堅(jiān)實(shí)步伐。材料器件中心于今年正式入駐上海市科技創(chuàng)新券平臺(tái)，并迅速完成首單服務(wù)，成功為一家上海高科技芯片企業(yè)解決了關(guān)鍵技術(shù)難題，研發(fā)成本直降50%，生動(dòng)詮釋了上科大服務(wù)產(chǎn)業(yè)界的決心與實(shí)力。

“過(guò)去需要投入數(shù)千萬(wàn)元購(gòu)置設(shè)備、組建團(tuán)隊(duì)才能攻克的關(guān)鍵工藝，現(xiàn)在借助上科大公共平臺(tái)的設(shè)備資源和團(tuán)隊(duì)技術(shù)力量，依托上海市科技創(chuàng)新券政策，我們僅花費(fèi)十幾萬(wàn)元就在45天內(nèi)實(shí)現(xiàn)了研發(fā)項(xiàng)目關(guān)鍵技術(shù)突破！”該企業(yè)研發(fā)負(fù)責(zé)人表示。

此次合作中，材料器件中心不僅展現(xiàn)了驚人的“上科大速度”，更彰顯了平臺(tái)技術(shù)底蘊(yùn)。中心工程師團(tuán)隊(duì)?wèi){借豐富的經(jīng)驗(yàn)，僅用45天便完成了從材料制備、器件加工到性能驗(yàn)證的全鏈條研發(fā)服務(wù)。通過(guò)優(yōu)化磁控濺射工藝，制備的超導(dǎo)薄膜核心性能達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平，并調(diào)配電子束曝光機(jī)（EBL）、無(wú)掩模光刻機(jī)（MLA）等尖端設(shè)備，提供了納米級(jí)的加工精度，最終使合作企業(yè)的探測(cè)器量子效率得到質(zhì)的飛躍，研發(fā)周期極大縮短。

這并非個(gè)例，而是材料器件中心為產(chǎn)業(yè)界精心打造的“一站式研發(fā)加速器”的縮影。材料器件中心自入駐上海市科技創(chuàng)新券平臺(tái)后，已開(kāi)通產(chǎn)業(yè)服務(wù)綠色通道，全面開(kāi)放上百臺(tái)、總價(jià)值數(shù)億元的頂尖微納制造設(shè)備。服務(wù)領(lǐng)域覆蓋集成電路薄膜材料、光電器件、射頻器件、功率器件、超導(dǎo)及AI器件等多個(gè)前沿方向。

未來(lái)， 材料器件中心將持續(xù)深化“科研支撐 + 平臺(tái)開(kāi)放 + 產(chǎn)教融合”的服務(wù)模式，讓學(xué)校的頂尖設(shè)備資源成為上海乃至全國(guó)產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新的強(qiáng)大引擎，為集成電路為代表的芯片產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展注入源源不斷的“微納制造”動(dòng)能。未來(lái)，期待有更多產(chǎn)業(yè)合作伙伴，通過(guò)科技創(chuàng)新券平臺(tái)與材料器件中心對(duì)接，共同將創(chuàng)新的藍(lán)圖變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)！

圖 材料器件中心入駐上海市科技創(chuàng)新券平臺(tái)